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Cleaner

초기 세정 및 RGB Coating, ITO Coating, Deposition, Rubbing 등의 전후에 설치되며
기판 상의 유기물, 이온, 금속, 불순물 등을 제거하는 장치이다.

특징

  • 다양한 설비 공정 구성 가능
    • EUV, Roll Brush, High Pressure Spray, Air Atomizing Spray, M-Sonic, DI Spray, Air Knife 등
  • 기판 반송 방식
    • 기어 구동 방식, Timing Belt 구동 방식, Magnetic 구동 방식
  • 적용 기판 Size
    • 200X200, 300X400, 370X470, 550X650, 600X720, 730X920, 1000X1200, 1100X1250, 1500X1850, 1870X2200


Stripper

에칭 공정 후 기판 상에 남아 있는 PR 막 제거하는 장치이다.

특징

  • 장치 구성
    • Spray Strip + High Pressure Strip + 세정 + 건조
  • 세정 능력 향상
    • High Pressure Rinse 설치, Air Atomizing Spray 설치
  • 기판 반송 방식
    • 기어 구동 방식, Timing Belt 구동 방식, Magnetic 구동 방식
  • 적용 기판 Size
    • 200X200, 300X400, 370X470, 550X650, 600X720, 730X920, 1000X1200, 1100X1250, 1500X1850, 1870X2200


Etcher

Photo 공정 후 Pattern 을 형성하기 위하여 기판상의 금속막을 식각하는 장치이다.

특징

  • 다양한 에칭 방식 구성 가능
    • Spray 요동 방식, Dip 방식 등
  • 장치 구성
    • 에칭 + Rinse + 건조
  • 기판 반송 방식
    • 기어 구동 방식, Timing Belt 구동 방식, Magnetic 구동 방식
  • 적용 기판 Size
    • 200X200, 300X400, 370X470, 550X650, 600X720, 730X920, 1000X1200, 1100X1250, 1500X1850, 1870X2200


Developer

노광 공정 후 현상 약액을 이용하여 기판 상의 PR 막을 제거하는 장치이다.

특징

  • 다양한 현상 방식 구성 가능
    • Spray 요동 방식, Dip 방식, Puddle 방식 등
  • 장치 구성
    • 현상 + Rinse + 건조
  • 기판 반송 방식
    • 기어 구동 방식, Timing Belt 구동 방식, Magnetic 구동 방식
  • 적용 기판 Size
    • 200X200, 300X400, 370X470, 550X650, 600X720, 730X920,
      1000X1200, 1100X1250, 1500X1850, 1870X2200