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IPA 공급 장치

45nm 공정 세정시스템용 IPA 초정밀 공급 SYSTEM MODULE

특징

  • 기포 제거 System
  • 정유량 및 정압 공급 System
  • 단독 제어 시스템


Chemical 공급 장치

45nm 공정 세정시스템용 Chemical Mixing SYSTEM MODULE

특징

  • Chemical Mixing System
  • 유량 및 정압 공급 System
  • 아이리스 모듈 공급